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许非凡:在光刻测量赛道奔跑的“追光”青年
文章字数:1775
    许非凡在实验室进行日常科研工作。


  在合肥工业大学,有这样一位青年学子:他入选2024年度中国科协青年人才托举工程博士生专项计划,两年蝉联博士研究生国家奖学金,发表多篇高水平SCI论文,申请十余项发明专利……他就是仪器科学与光电工程学院2022级硕博连读研究生许非凡。
  从“卡脖子”之痛到科研志向
  谈及选择这一研究方向的契机,许非凡坦言,既有个人兴趣的延伸,更与国家需求密切相关。
  “本科期间,我就对光学精密测量和仪器设计充满兴趣。但真正让我坚定深入这一领域的,是了解到国外对先进光刻设备的技术封锁后产生的强烈触动。”许非凡说,光刻技术是现代半导体制造的核心环节,其精度直接决定芯片制造的水平。长期以来,这一领域的关键设备和核心算法几乎被国外垄断。
  这种“卡脖子”现状让许非凡深刻意识到,只有掌握自主可控的核心技术,国家才能真正实现科技自立自强。“课题组的研究内容与国家产业发展的关键环节紧密契合,这让我看到了科研与国家战略需求之间的真实连接。”在导师夏豪杰教授的引导和科研氛围的影响下,许非凡更加坚定了要在这一方向扎根的决心。
  外部的封锁压力与科研团队的使命担当,共同促成了他的选择。他希望通过在先进光刻对准测量技术方向的持续探索,为突破核心技术瓶颈贡献自己的力量。
   科研之路:在挫折中成长
  科研之路绝非坦途。回顾自己的成长经历,许非凡用“不断自我超越的过程”来概括。刚进入研究生阶段,英语基础薄弱成了他面临的第一个“拦路虎”。面对困难,许非凡没有退缩。他给自己设定了明确的计划——每天早上七点在小花园背诵一小时英语,晚上睡前复习当天的词汇与表达。“刚开始效率很低,但我坚持了下来。慢慢地,我能更流畅地阅读论文,也能用英文准确表达科研思路。”
  更大的挑战来自科研本身。许非凡曾在科研初期连续几年没有明显成果,甚至经历过一篇论文被拒7次的挫折。
  “那篇论文我投入了大量精力,从实验到数据分析都反复打磨,但最终仍被多家期刊退稿。那段时间我陷入了严重的自我怀疑,觉得也许自己不适合科研。”
  在迷茫时刻,导师的开导和工作室的师兄师姐们的支持让他豁然开朗。“导师告诉我,科研的价值不在于结果,而在于持续改进的过程。”于是,他带着问题重新审视论文结构和研究逻辑,查找被拒原因,逐步完善每个细节。最终,这篇论文成功发表在国际期刊上。
  这段经历让许非凡学会了三件事:向上学习、向内调整、向外求助。“英语能力可以通过积累提升,科研困境可以通过协作破解,而心态的成熟,必须靠一次次面对失败的勇气去磨炼。”
   在光学测量领域砥砺前行
  经过多年积累,许非凡在科研上取得了一系列成绩。他先后参与国家重点研发计划、国家自然科学基金等10余项科研项目,在 MSSP、IEEETIM、Measurement等国际高水平期刊发表SCI论文7篇、会议论文11篇,申请发明专利10项和授权软件著作权3项。
  科研之余,许非凡还积极投身学术交流与志愿服务。他担任多本国际期刊的审稿人,参与承办2023年第十一届国际精密机械测量学术研讨会,参与组织2023年安徽省高端仪器仪表产业峰会。疫情期间,他还在村部开展志愿服务,并担任研究生复试工作志愿者和学院“迎新”工作志愿者。
  “科研不仅是求知的过程,更是一种社会责任。”许非凡说,“我积极参与国家重点科研项目与行业重大专项研究,服务国家‘卡脖子’技术攻关,推动成果应用与产业转化。在实践中,我深刻体会到‘工业报国’不仅是一句口号,而是科研人应有的信念与使命。”
  让青春在工业报国中闪光
  谈到专业未来发展,许非凡充满信心:“近年来,国家对光刻及相关核心技术的重视程度前所未有,这不仅体现了国家战略导向的前瞻性,也为我们这一领域的科研工作提供了广阔的发展空间与清晰的目标方向。”对于下一步规划,许非凡目标明确:继续完善已有研究成果,深入优化光学测量系统的信号建模、误差补偿与算法鲁棒性。“当前的关键挑战在于如何在复杂环境下保持纳米甚至亚纳米级测量精度。我打算在下一阶段探索计算成像与深度学习相融合的测量新思路,使系统能够具备自适应误差校正与智能对准能力。”
  同时,他也希望能将实验室的成果逐步工程化,与企业合作推进国产高端光刻设备核心部件的自主研制,真正实现“从实验室走向生产线”。
  “科研于我,不只是发表论文和获得奖项,更重要的是通过每一次实验与创新,让国产仪器设备真正‘造得出、用得好、靠得住’。”许非凡说,这将是他科研道路上不变的信念与追求。
  (全媒体记者 许鸿儒 黄文静)

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